詳細介紹

本設備是一款小型高真空電阻蒸發(fā)鍍膜儀，主要特點是設備體積小，結構簡單緊湊易于操作，也可整機放置于手套箱內(nèi)，對實驗室供電要求低；該系列設備主要部件采用進口或者國內(nèi)最優(yōu)的配置，從而提高設備的穩(wěn)定性；另外自主開發(fā)的智能操作系統(tǒng)在設備的運行重復性及安全性方面得到更好地保障。
該設備配3組電阻蒸發(fā)源（可兼容金屬與有機蒸發(fā)），適用于實驗室制備金屬、有機物蒸發(fā)。廣泛應用于高校實驗室和科研院所制備高質量功能薄膜、蒸鍍電極等。特別適合OPV/鈣鈦礦/無機薄膜太陽能電池、半導體、有機EL、OLED顯示研究與開發(fā)領域。
設備主要配置表

真空腔室	1Cr18Ni9Ti優(yōu)質不銹鋼材質，氬弧焊接，上開蓋和前開門結構
真空系統(tǒng)	機械泵+分子泵（國產(chǎn)或進口可選）， 極限真空優(yōu)于8*10-5Pa（設備空載抽真空24h），大氣~8*10-4Pa≦30min；采用電阻電離一體化真空規(guī)管讀取真空度；閥門采用電磁驅動擋板閥和手動限流閥
蒸發(fā)系統(tǒng)	蒸發(fā)源采用3組水冷銅電極，蒸發(fā)電源采用2KW逆變式電源，配源間防污隔板
基片臺	可拆卸式，尺寸60*60mm，旋轉：0-20r/min可調，可加熱至300℃，可選水冷或是帶角度調節(jié)功能的基片臺
膜厚監(jiān)控儀	可選配進口或國產(chǎn)膜厚監(jiān)控儀在線監(jiān)測和控制蒸發(fā)速率、膜厚
控制系統(tǒng)	PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障，實現(xiàn)一鍵抽停真空
設備尺寸	L60cm×W60cm×H96cm 機電一體化機架，預留1個CF35法蘭接口

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